Fanout 반도체 PR 패턴 고속 자동 검사장비 개발

Fanout semiconductor PR pattern highspeed automatic inspection equipment development

[주관연구개발기관(크레셈)] o 수요업체의 수동 검사 Defect 확인 ㅇ Macro 검사항목과 Micro 검사항목 지정 ㅇ 핵심 모듈의 성능 지표 확정 o 핵심 모듈의 설계 및 제작 o 조명 개발 및 조명 최적화, 영상 추출 o 핵심 모듈 테스트를 위한 테스트 베드의 제작 o CAD 데이터에서 검사기와 연동 가능한 데이터 추출 및 확정 [공동연구개발기관1((주)네패스)] ㅇ …