2024산업통상자원부
반도체 후공정 광학 검사장비용 600x600㎟ 이상 대면적 세라믹 스테이지 제조 기술 개발
Development of technology to manufacture large-area ceramic stages over 600x600 for post-semiconductor optical inspection equipment
[최종목표] ㅇ 광학검사장비용 대면적 저열변형 고투광형 백라이트 장착 세라믹 진공척 스테이지 모듈 개발 - 다공성 세라믹 소재의 정밀 가공 및 후처리 기술 개발 - 600x600㎟ 면적의 고투광형 백라이트 장착 세라믹 진공척 스테이지 모듈 개발 - 600x600㎟ 대면적 고투광형 세라믹 스테이지에 평면도 ≤ 10㎛ 성능 확보 - 고투광형 세라믹 스테이지 모듈의 열적 안정성 확보 ㅇ…
- 총 연구비
- 31억원 과제 3건 (수행기관 4곳)
- 연구 기간
- 4년 4개월수행 중 (D-787)2024-09-01 – 2028-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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