진공기술
반도체 증착장비
산화이트륨을 이용한 증착장비와 공정 개발
제조
기술반도체/디스플레이 반도체
분야오프라인
O2O제조/공급
사업 형태
공정/설비
운영유사 제품/서비스
- 71%다이싱쏘 장비코닉세미텍
웨이퍼 다이싱 공정 장비
- 71%반도체웨이퍼에프에스2
대면적 차세대 고품질 단결정 2차원 반도체 웨이퍼
- 70%
반도체 증착장비모만연구용 원자층 증착법 장비
- 70%
반도체 증착장비넥서스비연구용 원자층 증착법 장비
- 70%TGV 공정에프앤에스전자
반도체 유리기판 TGV, 메탈라이징 공정
- 69%TGV 장비비에스피
유리기판 공정의 핵심 중 하나인 TGV(Through Glass Via) 프로세스에 필수적인 레이저와 에칭 장비
- 68%SiC 전력반도체 장비리드엔지니어링
고온 열처리 기술기반 SiC RTP와 산화막 형성(Oxidator) 장비
- 68%반도체 증착장비코팅솔루션포유
연구용 원자층 증착법 장비