2024산업통상자원부
고용량 초박형 capacitor 제조를 위한 다원계 고유전율 유전체 및 전극 박막 공정 기술 개발
Development of multi-component high dielectric and electrode thin-film process technology for manufacturing ultra-thin capacitors with high capacity
[최종목표] ㅇ 고용량 초박형 capacitor 제조를 위한 다원계 고유전율 유전체 및 전극 박막 공정 기술 개발o 다중 샤워헤드 구조 가스 인젝터 개발 - 다원계 유전막 증착을 위한 다중 샤워헤드 구조 설계 및 시뮬레이션 - 다중 샤워헤드 구조 적용을 통한 고품질 및 고균일도 다원계 유전막 증착 및 고전도도 전극막 공정기술 개발o 12인치급 Cluster ...
- 총 연구비
- 33.7억원 과제 3건 (수행기관 4곳)
- 연구 기간
- 4년 3개월수행 중 (D-917)2024-10-01 – 2028-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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