2024산업통상자원부
1,000 mm이상 광폭 in-situ R2R 배리어 필름 고속제조 공정장비 및 차세대 고차단성/고신뢰성 배리어 박막 형성 장비 기술 개발
Development of process equipment for high-speed manufacturing of barrier film via in-situ roll-to-roll path of wide width over 1000 mm and next-generation thin film deposition technology with high bar...
ㅇ in-situ monomer evporation 및 sputtering 공정을 이용한 고생산성 배리어 필름 제조를 위한 장비 및 공정 기술 개발 o 차세대 배리어 형성용 R2R ALD 공정 및 장비 개발 o 개발목표항목 - in-situ 용액 공정후 평탄도 1 nm 이하 - in-situ 용액 공정 증착 DDR @초음파 열증발 장치 ≥2.5 ㎛ㆍm/min - in-situ 용액 …
- 총 연구비
- 30.2억원 과제 3건 (수행기관 4곳)
- 연구 기간
- 3년 5개월수행 중 (D-551)2024-08-01 – 2027-12-31
- 적용분야
- 주관기관
아이컴포넌트
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연구 내용
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기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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