

마이크로 엘립소메트리기술기반 3D 낸드플래시 박막 계측 장비


웨이퍼 배면의 결함을 양산라인 내에서 비파괴 방식으로 관찰·분석하는 반도체 계측 장비

차세대 반도체 열처리 공정 기술 기반 반도체 열처리 장비

반도체 전 공정에 Powder를 효과적으로 분해 & 포집하는 반도체 부품

EUV 마스크 결함 리뷰 장비

이온성 액체를 이용한 유기소재 정제기술 및 고순도화장치

반도체 패키지 본딩 공정 장비

산화이트륨을 이용한 증착장비와 공정 개발

차세대 2차원 반도체 파운드리 공정에 사용하는 증착 장비