

차세대 반도체 열처리 공정 기술 기반 반도체 열처리 장비


질화갈륨(GaN) 소재 무선통신용 반도체칩

반도체 8대 공정 중 식각 공정에 사용할 수 있는 차세대 ALE(Atomic Layer Etching) 장비

AI에 최적화된 시스템 반도체 (레니게이드)

EUV 마스크 결함 리뷰 장비

탄화규소(SiC) 소재 기반 전력을 제어하는 반도체

반도체 후공정 제조 장비

이온성 액체를 이용한 유기소재 정제기술 및 고순도화장치

반도체 장비용 고정밀 부품과 모듈 제작