

차세대 반도체 열처리 공정 기술 기반 반도체 열처리 장비


반도체 전 공정에 Powder를 효과적으로 분해 & 포집하는 반도체 부품

질화갈륨(GaN) 소재 무선통신용 반도체칩

질화갈륨(GaN) 소재 무선통신용 반도체칩

반도체 8대 공정 중 식각 공정에 사용할 수 있는 차세대 ALE(Atomic Layer Etching) 장비

AI에 최적화된 시스템 반도체 (레니게이드)

EUV 마스크 결함 리뷰 장비

웨이퍼 배면의 결함을 양산라인 내에서 비파괴 방식으로 관찰·분석하는 반도체 계측 장비

탄화규소(SiC) 소재 기반 전력을 제어하는 반도체