2021산업통상자원부
마이크로 결함이 없는 고치밀성을 갖는 무기 박막 증착장비 개발
Development of high density inorganic thin film deposition system without micro defects
[주관기관(주성엔지니어링)] ㅇ 6GH이하 ALD/CVD Hybrid 장비를 이용한 저수소 및 무결함 봉지구조 개발 ㅇ 8G ALD/CVD Hybrid 장비 Concept 확보를 위한 및 8GH 장비 설계 ㅇ 8G Transfer chamber, Load Lock 설계 및 제작 [참여기관 (코리아스타텍)] ㅇ 8G Half 사이즈의 Susceptor ESC Body 평탄도 …
- 총 연구비
- 172.3억원 과제 4건 (수행기관 9곳)
- 연구 기간
- 3년 9개월수행완료2021-04-01 – 2024-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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