2026산업통상자원부
IT OLED용 전면 산화물 TFT 구현을 위한 나노단위 적층구조 및 결정 제어 공정 개발
Development of a Nanoscale Layered Structure and Crystal Control Process for Implementing Front-Side Oxide TFTs for IT OLEDs
8세대 이상 대면적 기반 게이트스윙 조절 가능한 고이동도 및 고신뢰성을 가지는 전면 산화물 트랜짓터 양산 공정 기술 확보-전계효과 이동도 50 ~100 cm2/Vs 이상-박막, 조성, 이동도 균일도 3% 이하 - 게이트 스윙 값(S.S) 0.4V/dec. 이상 - 소자신뢰성 + - 0.2V 이하
- 총 연구비
- 16.6억원 과제 1건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 3년 9개월수행 중 (D-1283)2026-04-01 – 2029-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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