2025산업통상자원부
OLEDoS용 고신뢰성 봉지를 위한 저온 무기막 성막 기술 개발
Development of low-temperature inorganic deposition film technology for high-reliability encapsulation of OLEDoS devices
[최종목표] ㅇ OLEDoS용 저온 초박막 봉지 증착 TSD ALD Hybrid 장비 기술개발 - 증착온도(≤90℃), 증착두께(150Å≤Target≤500Å), 증착속도(≥1Å/s), 균일도(≤2%), WVTR(≤5x10-5g/m2day), Step Coverage(≥95%), 투과율(≥90%) 특성 확보[1단계-1차년도 목표] ㅇ OLEDoS T...
- 총 연구비
- 42.9억원 과제 2건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 4년 9개월수행 중 (D-1283)2025-04-01 – 2029-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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