고해상도·저전력 AR/VR 디스플레이 向 단결정 2D 반도체 박막 어레이 증착용 MOCVD 장비 개발 및 기술 사업화

Development and Technology Commercialization of MOCVD Equipment for Single Crystal 2D Semiconductor Thin Film Array toward High Resolution and Low Power AR/VR Display

[티디에스이노베이션 (주관연구개발기관)] - 멀티 사이즈 단결정 이차원 반도체 어레이 성장을 위한 핵생성 제어 기술 개발 공정 - 단결정 어레이 성장용 8인치급 시제품 MOCVD 증착 장비 개발 - 단결정 이차원 반도체 성장 장비 및 웨이퍼 사업화 [한국과학기술원 (공동연구개발기관)] - 단위 소자 성능 향상 공정 개발 - 어레이레벨 소자 설계 및 성능 검증 [에이치앤피국제특허법률사무소…