고효율 박막 태양전지 제작용 다결정 탄화규소 성장기술 개발

고효율 태양전지 제작에 적용 가능한 다결정 탄화규소(β-SiC) 성장 기술 개발 - 다양한 기판(유리, 플라스틱, 필름 등)에 활용 가능한 저온 탄화규소 증착 기술 개발 - P, N-type 탄화규소 제작을 위한 in-situ doping 공정 기술 개발 - 저온용 기판에 사용 가능한 고속 zone annealing 방식을 사용한 dopant diffusion 공정 기술 개발 - 비정…