반도체 식각공정용 벌크 Y2O3 대체 558Φ급 Y2O3-Al2O3 접합체 윈도우 제조 기술 개발

Development of Y2O3-Al2O3 junction window manufacturing technology for bulk Y2O3 replacement for semiconductor etching process

(1차년도) 고 내플라즈마 특성을 갖는 Y2O3-Al2O3 접합체 개발 및 최적화 연구 - 타사기술 분석 및 기초 자료조사 - Y2O3, Al2O3 세라믹의 입도 분포에 따른 수축률 및 수축 거동 연구 - Y2O3-Al2O3 접합 방식 및 접합 조성변화에 따른 접합체 특성 연구 - Y2O3, Al2O3, 접합재 분말 원료 혼합/슬러리 및 spray dry용 그래뉼(granule) 최적…