2023중소벤처기업부
2023 코닉스 - 2023년도 연구장비활용 바우처 지원사업 시행계획 공고
반도체 웨이퍼 운반용 ARM에 사용하는 도전성 세라믹의 개발을 진행하기 위함. 도전성 세라믹은 일반적인 세라믹과 다르게 10의 3승 이하의 낮은 저항값을 갖는 세라믹이며 이를 제작하기 위해서는 공기분위기의 소결 이후 진공분위기에서의 소결단계가 필요함. 제품을 1차로 공기분위기에서 소결하면 10의 12승 이상의 높은 저항값을 가지며 소결체를 진공분위기에서 소결할 경우 10의 3승 이하의 낮은…
- 총 연구비
- 1033.8만원 과제 1건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 1년수행완료2023-01-01 – 2023-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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