저스템

반도체 및 FPD 분야의 초정밀 유량제어 장비

반도체와 디스플레이 생산공정에 필요한 유체 제어 장비

반도체 테스트 핸들러, 렌즈 클리닝 장비

면광원 레이저 기술 기반 반도체 리플로우 장비

이온주입기술을 이용한 반도체 정전기 제거 솔루션

탄화규소(SiC) 소재 기반 전력을 제어하는 반도체

반도체 공정용 전구체(Precursor) 공급·이송 장치 (BCD, VMB, LDS, ARS, GDS)

연구용 원자층 증착법 장비

산업용 플라즈마 스크러버의 핵심장치인 플라즈마 발생 장치

전자제품 인쇄전자공정 설비

OLED용 박막 증착 설비

터치스크린패널 제조 설비

OLED 모듈·봉지 공정용 오토클레이브, 라미네이션 장비

대면적 디스플레이 멀티터치 IC 반도체

차세대 빔 프로젝터 스크린 필름

웨이퍼 및 디스플레이 건식 세정장치