반도체·마이크로 로봇·전자기기·의료·뷰티 등 정밀한 제어가 필요한 공정에 활용되는 액추에이터
산화이트륨을 이용한 증착장비와 공정 개발
반도체 post-CMP 공정용 소모성 부품
반도체 유리기판 TGV, 메탈라이징 공정
반도체 전 공정에 Powder를 효과적으로 분해 & 포집하는 반도체 부품
반도체 장비용 고정밀 부품과 모듈 제작
탄화규소(SiC) 소재 기반 전력을 제어하는 반도체
반도체 전공정 장비 핵심 부품
시스템 반도체 기판 소재