2026중소벤처기업부
반도체 Mini-Environment 신뢰성 향상을 위한 저정압 필터 기반 저진동 공조 모듈화 기술 개발
Development of Low-Pressure-Drop Filter-Based Modular Air-Handling Technology with Low-Vibration Performance for Improved Reliability in Semiconductor Mini-Environments
반도체 검사장비 및 고청정 미니환경용 저차압 필터 기반 저진동 EFU 청정공기 공급모듈 개발 1) 저차압·장수명 ULPA/HEPA 필터제품 설계·제조 기술 2) 필터 팬 통합형 저진동·저소음 EFU 모듈 기술 3) 고청정 Mini-Environment 기류·청정환경 통합기술 4) 실 EFU/BFU 및 반도체 장비 적용 성능검증·현장 실증 기술1) 필터제품-...
- 총 연구비
- 4.4억원 과제 1건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 3년수행 중 (D-1071)2026-09-01 – 2029-08-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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