2025산업통상자원부
반도체 및 바이오 클린룸용 50nm 나노섬유 기반 ULPA급(〉99.9999%)고성능 필터 상용화 기술개발
Development and Commercialization of High-Efficiency ULPA Filters (〉99.9999%) Based on 50 nm Nanofibers for Semiconductor and Biopharmaceutical Cleanroom Applications
[최종목표] ㅇ 본 과제의 최종 목표는 반도체 및 제약 클린룸 환경에 최적화된 50nm급 초미세 나노섬유 기반의 ULPA급(>99.9999%) 고성능 공기필터를 상용화하는 기술을 확보하는 것입니다. ㅇ 이를 위해 나노섬유의 정밀한 직경 제어 및 균일한 웹 형성을 위한 전기방사 공정 최적화, 다층 복합구조 설계를 통한 여과 효율 및 기계적 안정성 확보, 필터 모듈(ASSAY) 설계 및 실증을 …
- 총 연구비
- 21.2억원 과제 2건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 2년 6개월수행 중 (D-462)2025-07-01 – 2027-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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