반도체 클린룸 OAC 공조 최적화를 위한 나노융합 복합필터 기반 에너지·탄소 저감 기술개발

Development of Nano-Hybrid Filter Technology for Energy Savings and Carbon Emissions Reduction in Semiconductor Cleanroom Out Air Conditioner (OAC) Systems

본 과제의 최종 목표는 클린룸 OAC(Outdoor Air Conditioner) 공조시스템에 적용 가능한 나노복합 섬유 기반의 저차압·고효율 미디움 필터 및 HEPA 필터를 개발하고, 이를 양산형 제품 수준으로 고도화하는 것입니다. 이를 위해 미디움 필터는 저차압과 충분한 입자 제거 성능을 동시에 확보하고, HEPA 필터는 고효율과 저저항 특성을 만족하도...