2024산업통상자원부
고 이동도 IT Panel 제조를 위한 G8.6급 대면적 증착 공정용PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비
PECVD Equipment for G8.6 Grade Large Area Deposition Process for High Mobility IT Panel Manufacturing
고 이동도 IT Panel 제조를 위한 8.6세대 PECVD 장비 양산 성능 인증 (수요 기업 요구 박막 물성, 전기적 특성, 장비 신뢰성 성능 평가)
- 총 연구비
- 4.5억원 과제 1건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 1년수행완료2024-05-01 – 2025-04-30
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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