고품위 중소형 디스플레이 백플레인용 2세대급 p형 칼코겐 반도체 소재의 저온 성막 시스템 및 고집적 응용 소자 개발

Development of a low-temperature 2G sputter system of p-type chalcogen semiconductor materials and high-Integrated application devices for high-quality backplane of small & medium-sized displays

[최종목표] ㅇ 고품위 중소형 디스플레이 백플레인용 2세대급 p형 칼코겐 반도체 소재의 저온 성막 시스템 및 고집적 응용 소자 개발[1차년도 목표] ㅇ 저온 모듈 개발을 위한 기판 냉각 컨셉 검토 및 설계 ㅇ 2세대 (기판 370x470mm2) 진공 시스템 개발 및 챔버 설계 ㅇ 저온 ALD 공정 기반 n-type 산화물 반도체 소재의 저온 박막 증착 조건 탐...