2025산업통상자원부
산업수요연계 600x600mm2 대면적 글래스 기판용 고종횡비 TGV 금속 증착 장비 기술개발
Development of High Aspect Ratio TGV Metal Deposition Equipment for Large-area (600x600mm2) Glass Substrates
[최종목표] ㅇ 대면적 글래스 기판용 고단차 TGV 금속 증착 장비 혁신제품형 기술개발 - 대면적 글래스 기판에 최적화된 스퍼터 전극, 타겟, 챔버 설계 및 실증 - TGV 종횡비 10:1 이상, 균일도 ±5%이내, Step coverage ≥ 20% 고정밀 증착 기술 확보 - Thin 글래스 양면 증착을 위한 handling module 개발 - ...
- 총 연구비
- 55.3억원 과제 2건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 3년 9개월수행 중 (D-800)2025-04-01 – 2028-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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