옴스트롱 노드 로직 반도체를 위한 DBC 기반 후면 clock·signal 배선의 소자-표준셀-칩 통합 설계 기술

DBC-Based Backside Clock and Signal Routing with Device-Standard Cell-Chip Co-Design for Angstrom-Node Technologies

-최종 목표-본 과제에서는 옴스트롱 노드급 포크형 GAA (gate-all-around) 소자 및 DBC (direct backside contact) 방식을 구현하고, 해당 spec을 반영하여 표준셀 layout과 PDK (process design kit)를 제작한다. 또한, 이를 활용하여 후면 clock 및 signal을 구현할 수 있는 physica...