실시간 플라즈마 밀도 측정 센서가 결합된 정전척

ESC with real time plasma density measurement sensor

평판형 컷오프 플라즈마 센서를 장착한 정전척 개발 평판형 컷오프 플라즈마 센서 장착을 위한 센서 최적화 연구 개발 세라믹 ESC에 장착되는 조건을 만족하는 구조 및 커넥터 형태 개발 센서 측정값 획득을 위한 컨트롤러 개발 측정 소프트웨어 개발