2021과학기술정보통신부
4터미널 고신뢰성 RF MEMS Relay 개발
Development of 4 terminal high reliability RF MEMS relay
◦ 사업화 아이템명 : 고신뢰성 RF MEMS Relay 개발 - 고려사항 : 목표 성능 구현, 기계적 안정성, 신뢰적인 공정 ◦ 고성능 RF MEMS 릴레이를 프로브카드에 접목하여 반도체 제조업체에 공급
- 총 연구비
- 3.8억원 과제 1건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 1년 1개월수행완료2021-09-16 – 2022-09-15
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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