


웨이퍼 결함 실시간 고속 전수 검사 솔루션

비접촉 방식의 Micro LED를 포함한 화합물 반도체 웨이퍼 검사 장비

전력반도체와 TGV(유리 관통 전극)·TSV(실리콘 관통 전극) 내부 결함 비파괴 전수 검사 장비

HBM(고대역폭 메모리) 후공정 과정에서 발생하는 웨이퍼의 휘어짐 현상을 측정·제어·저감하여 수율 저하를 방지하는 통합 솔루션

반도체 공정 및 장비 진단용 Sensor on Wafer 장비

반도체 웨이퍼에 형성되는 마이크로 범프의 3D 형상을 초고속으로 측정할 수 있는 정밀 검사 장비

메모리 반도체 웨이퍼 테스트 장비

이미지센서 반도체 웨이퍼 후공정 서비스