내일해

웨이퍼 결함 실시간 고속 전수 검사 솔루션

비접촉 방식의 Micro LED를 포함한 화합물 반도체 웨이퍼 검사 장비

전력반도체와 TGV(유리 관통 전극)·TSV(실리콘 관통 전극) 내부 결함 비파괴 전수 검사 장비

HBM(고대역폭 메모리) 후공정 과정에서 발생하는 웨이퍼의 휘어짐 현상을 측정·제어·저감하여 수율 저하를 방지하는 통합 솔루션

반도체 웨이퍼에 형성되는 마이크로 범프의 3D 형상을 초고속으로 측정할 수 있는 정밀 검사 장비

반도체 박막 두께 측정용 초정밀 계측장비

반도체 공정 및 장비 진단용 Sensor on Wafer 장비

MRAM 자성특성 인라인 비파괴 계측 장비