

전력반도체와 TGV(유리 관통 전극)·TSV(실리콘 관통 전극) 내부 결함 비파괴 전수 검사 장비


반도체 공정 및 장비 진단용 Sensor on Wafer 장비

반도체 웨이퍼 비시각결함 검사장비

반도체 웨이퍼 검사장비

반도체 PKG, SSD, MEMORY MODULE 외관 검사장비

EUV 광원을 기반으로 한 소재와 부품 및 평가 장비 제공

반도체 부품 광학검사장비

X-ray기반 반도체 기판의 초미세 결함을 검출하거나 불량 여부를 검사하는 장비

디스플레이 압흔 검사 장비