나노소재기술 기반 반도체 소재 및 소자 제작
반도체 세정 공정용 핵심 부품
전력반도체용 AIN 기반 화합물 반도체 에피웨이퍼
이중구조 미세기공 형성 기술이 적용된 시스템반도체용 초극청정 가스 필터
반도체 적층 급속승강온 세라믹 히터
고대역폭 메모리 테스트 장비용 시스템 반도체
반도체 방열부품
반도체 유리기판 TGV, 메탈라이징 공정
발열체와 방열판(히트싱크) 사이에 부착하여 열을 효과적으로 전달하는 실리콘 소재 시트