이중구조 미세기공 형성 기술이 적용된 시스템반도체용 초극청정 가스 필터
반도체 적층 급속승강온 세라믹 히터
나노소재기술 기반 반도체 소재 및 소자 제작
전력반도체용 AIN 기반 화합물 반도체 에피웨이퍼
고대역폭 메모리 테스트 장비용 시스템 반도체
반도체 및 디스플레이 제조 증착공정 장비(CVD·ALD)용 부품
AI에 최적화된 시스템 반도체 (리벨, 아톰)
반도체 방열부품
디바이스 AI 노트북용 고효율 LED 드라이버