반도체·디스플레이 공정과 산업용 로봇, 인공위성 등에 적용되는 초정밀 모션시스템
나노 유기 전도성 고분자를 응용한 전자재료
싱글, 듀얼 암 웨이퍼 이송 로봇
반도체 및 FPD 분야의 초정밀 유량제어 장비
반도체, 디스플레이 장비용 부품 코팅 원료
반도체 Package 또는 Chip을 Pick & Place 하는 모듈
PCB용 초정밀 유압 프레스
반도체 개별로 세정·건조가 가능한 장비
반도체 웨이퍼의 산화물 식각 장비