

싱글, 듀얼 암 웨이퍼 이송 로봇


반도체 웨이퍼의 산화물 식각 장비

반도체 자동화공정 설비

반도체 Package 또는 Chip을 Pick & Place 하는 모듈

반도체 정밀 장비

대한민국 기업이 필요로 하는 독자적인 핵심기술개발을 통해 해외에 의존해온 전자부품의 국산화는 물론 신기술제품 개발을 촉진하고 중소·벤처기업이 경쟁력을 갖출 수 있도록 지원하기 위해 설립된 대한민국 전문생산기술연구소

반도체 개별로 세정·건조가 가능한 장비

반도체 및 FPD 분야의 초정밀 유량제어 장비

오디오/카메라/비디오 등 멀티미디어 기능을 지원하는 디지털 미디어 프로세서


































































































