이온성 액체를 이용한 유기소재 정제기술 및 고순도화장치
EUV 마스크 결함 리뷰 장비
반도체 제조용 기계
마이크로 엘립소메트리기술기반 3D 낸드플래시 박막 계측 장비
이온주입기술을 이용한 반도체 정전기 제거 솔루션
연구용 원자층 증착법 장비
반도체 전 공정에 Powder를 효과적으로 분해 & 포집하는 반도체 부품
반도체 공정에서 온도를 안정적으로 제어하는 온도 조절 장치
면광원 레이저 기술 기반 반도체 리플로우 장비