

이온성 액체를 이용한 유기소재 정제기술 및 고순도화장치


EUV 마스크 결함 리뷰 장비

반도체 제조용 기계

마이크로 엘립소메트리기술기반 3D 낸드플래시 박막 계측 장비

이온주입기술을 이용한 반도체 정전기 제거 솔루션

웨이퍼 배면의 결함을 양산라인 내에서 비파괴 방식으로 관찰·분석하는 반도체 계측 장비

연구용 원자층 증착법 장비

반도체 전 공정에 Powder를 효과적으로 분해 & 포집하는 반도체 부품

반도체 공정에서 온도를 안정적으로 제어하는 온도 조절 장치