2024중소벤처기업부
우주항공 및 반도체 산업의 증가하는 가스방출 측정 수요에 맞춰 유연한 대응이 가능한 ASTM E595 기반 고정밀-자동제어-확장가능형 가스방출 측정장치 개발
Development of a high-precision, automated, and scalable outgassing measurement device based on ASTM E595 for flexible response to increasing demands
□ 기술개발 목표 ○ 우주항공 및 반도체 산업의 증가하는 가스방출 측정 수요에 맞춰 유연한 대응이 가능한 ASTM E595 기반 고정밀-자동제어-확장가능형 가스방출 측정장치 개발 (국제 표준) 우주항공 가스방출 측정 표준인 ASTM E595를 기반으로 한 가스방출 측정장치 개발 (고정밀) 측정 챔버 간 표준시료의 가스방출 측정 정확도(95% 신뢰구간) TML ±5%, CVCM ±10% …
- 총 연구비
- 1.6억원 과제 2건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 1년수행완료2024-10-01 – 2025-09-30
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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