2023산업통상자원부
반도체 제조공정 최적화를 위한 실시간 IoT와 디지털트윈 융합시스템 기술개발 및 실증
Development and Demonstration of RealTime IoT and Digital Twin Convergence System for Semiconductor Manufacturing Process Optimization
ㅇ 제조공정의 운영현황과 직관성 확보가 가능한 디지털트윈 동기화 모듈 개발 - 다중 생산라인, 제조현장 공간정보 등 디지털트윈 모델링 데이터 구축 - 산업현장의 실제 제조공정 모니터링에 적합한 3차원 디지털트윈 가상화 기술개발 o 산업용 IoT 기반 반도체 제조공정 상태 데이터 실시간 수집/분석 모듈 개발 - 반도체(후공정) 다중 생산라인별 장비(5종 이상) 가동, 알람, 생산 정보 …
- 총 연구비
- 30.4억원 과제 3건 (수행기관 3곳)
- 연구 기간
- 2년 6개월수행완료2023-07-01 – 2025-12-31
- 적용분야
- 주관기관
올포랜드
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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