실리콘 반도체 단결정 생산용 4W 냉각 부하, 무냉매, 내경 1800mm급, CUSP형 MCz용 초전도 자석 개발 (저가형 / 보급형)

A development of CUSP type MCz superconducting magnet for silicon semiconductor single crystal production by 4W cooling load, coolant free and inner diameter of 1800mm, (low price / popular type)

본 개발을 통해서 기존의 반도체 단결정 생산용 MCz형 초전도 자석 대비 제작 단가를 50% 이상 낮춘 저가형, 보급형의 4W 냉각 부하, 무냉매, 내경 1800mm급, CUSP형 MCz초전도 자석을 개발하는 것을 목표로 한다. ● 중심 자속 : 1,000G 이상 ● 4.2K 냉각 능력 : 4W ● 냉동기 수량 및 소비전력 : 2기, 20kW 이하 ● 장비 내경 : 1800mm ● Therm…