CuCMP공정 금속두께 측정용 인라인 Xray 장비기술개발

Development of inline Xray equipment for measuring metal thickness in CuCMP process

[최종목표][주관연구개발기관((주)아이에스피)] ○ Cu-CMP공정 금속두께 측정용 인라인 X-ray 장비기술개발 - Cu-CMP 금속 두께측정 가능성 검증을 위한 형광 분석기 모사 장치개발 - 모듈형 Cu-CMP 금속 두께측정 X-Ray 형광 분석 장치개발 - Stand Alone type Cu-CMP 금속 두께 측정용 장비개발 - 시스템 및 데이터 검증 [공동연...