TGV 유리기판 미세크랙 검출을 위한 암시야 영상 기반 고해상도 X-ray 검사 시스템 개발

Development of a Dark-Field Imaging-Based High-Resolution X-ray Inspection System for Microcrack Detection in TGV Glass Substrates

본 연구개발 과제는 기존의 물질 감쇠 차이에 기반한 X-ray 영상기술을 포함하여, 물질 내부 미세구조의 산란 효과로 경계면이 강조되는 암시야(Dark-field imaging) 영상과 X-ray의 굴절 및 위상 변위에 기인하는 위상차(Phase contrast imaging) 영상 기술을 통합 개발하는 것을 목표로 함. - 이를 통해 TGV 내 sub-m...