2024산업통상자원부
Advanced 2.5/3.0D Packaging을 위한이종 소자간 ~1㎛ 분해능, 실시간 계측이가능한 다목적 홀로그램 3차원 검사설비 개발
Development of multi-purpose hologram 3D inspection equipment
[최종목표] Advanced 2.5/3D Packaging을 위한 이종 소자간 ~1um 분해능, 실시간 계측이 가능한 다목적 홀로그램 3차원 검사 설비 개발 [1차년도 목표] ㅇ FSH 기술 기반의 홀로그램 광학 모듈 시작품 제작 및 다목적 홀로그램 3차원 검사 설비 설계 ㅇ 홀로그램 정보 3D 가시화 모듈 설계 ㅇ 홀로그램 3D 검사 설비 평가를 위한 pattern sample …
- 총 연구비
- 47.5억원 과제 3건 (수행기관 3곳)
- 연구 기간
- 2년 9개월수행 중 (D-71)2024-04-01 – 2026-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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