2025산업통상자원부
정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 기반 초고감도 초소형 공진형 힘 센서 개발
Development of integrated CMUTs for force measurement
정전용량형 미세가공 초음파 트랜드듀서를 활용한 초소형 고민감도 MEMS 힘 센서 개발 및 소프트 로보틱스 분야에서 활용 가능한 시제품 제작
- 총 연구비
- 3.3억원 과제 1건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 3년수행 중 (D-769)2025-12-01 – 2028-11-30
- 적용분야
- 주관기관
01
연구 내용
02
기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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