복합특성 세라믹 소재 응용 70x70㎟ 이상 대면적 급속발열 히팅모듈 제조 기술 개발

Development of manufacturing technology for pulse heaters sized over 70*70mm by utilizing the composite characteristics of ceramics

ㅇ 대면적 히터 모듈 개발 목표 - 70x70㎟의 AlN 히터 플레이트 내 금속 발열체와 중공형 냉각 관로를 구비하고 열전도도 1.8W/mK이하, 열팽창계수 1.5x10-6/K이하를 갖는 1세부 개발 소재의 단열지지 블록을 적용한 대면적 히터 모듈 개발 ㅇ 대면적 세라믹 히터 개발 목표 - 유효면적 70x70㎟에 온도 균일도 2% 이하 온도분포를 갖는 세라믹...