나노화인테크

라이다와 3D 센싱에 활용되는 VCSEL 칩 어레이

터치센서 모듈 반도체칩

SiC Focus Ring, Shower Head 등 반도체 공정용 SiC 부품

고온 열처리 기술기반 SiC RTP와 산화막 형성(Oxidator) 장비

웨이퍼 백그라인더, 다이싱 쏘 등 반도체 정밀 가공장비

모바일·PC·서버용 메모리 OS 레벨 실장 검사 장비 (싱글/멀티 파라 테스터)

프로브카드 탐침 레이저 접합·절단·검사 반도체 테스트 장비

반도체 개별로 세정·건조가 가능한 장비