

레이저 기반 임시 접합 해제 기술로 HBM 등 차세대 반도체 적층 패키징의 핵심 공정 지원


탄화규소(SiC) 소재 기반 전력을 제어하는 반도체

노광공정용 장비

산업용/전장용 무선 통신 칩

반도체 패키지 본딩 공정 장비

유리기판 공정의 핵심 중 하나인 TGV(Through Glass Via) 프로세스에 필수적인 레이저와 에칭 장비

반도체 및 디스플레이 제조 증착공정 장비(CVD·ALD)용 부품

면광원 레이저 기술 기반 반도체 리플로우 장비

CVD 공정으로 금속, 산화물 등 다양한 재료를 Si 웨이퍼, 글라스, 메탈, 플라스틱 기판에 나노 두께로 정밀 코팅하는 서비스