

CVD 공정으로 금속, 산화물 등 다양한 재료를 Si 웨이퍼, 글라스, 메탈, 플라스틱 기판에 나노 두께로 정밀 코팅하는 서비스


전자기기 회로에 전류를 안정적으로 공급하는 실리콘 기반 커패시터

고순도 고청정 가스 배관 제조

RF 전력증폭기의 핵심 반도체 부품

웨이퍼 다이싱 공정 장비

TGV, 메탈라이징 공정이 적용된 고성능 반도체 유리기판

반도체 후공정 제조 장비

반도체 8대 공정 중 식각 공정에 사용할 수 있는 차세대 ALE(Atomic Layer Etching) 장비

인쇄회로기판(PCB)용 광감성 필름 코팅 장비


































































































