비에스피

면광원 레이저 기술 기반 반도체 리플로우 장비

반도체 패키지 전자파 차폐막 형성용 스퍼터링 장비 (ShieldRus, VS-300, CURUS)

실리콘 웨이퍼를 만드는데 있어 핵심 소재인 잉곳을 생산하는데 필요한 자석

반도체 유리기판 TGV, 메탈라이징 공정

반도체 유리기판 TGV, 메탈라이징 공정

웨이퍼 다이싱 공정 장비

고압 어닐링, 퍼니스, 가압 Cure 등 반도체 열·가압 공정 장비

ALD, iCVD 등 반도체·디스플레이용 박막 증착장비