코닉스

반도체 전공정 장비 핵심 부품

스핀척, 노즐, LED 히팅 시스템, 챔버 부품 등 세정장비용 정밀부품

반도체 post-CMP 공정용 소모성 부품

입자나노코팅 기술 기반 반도체 전자파 차폐 코팅

반도체, 전기·전자기기 등의 특수소재를 생산

반도체 공정용 플라즈마 밀도 센서 내장 정전척 (PDS ESC, 세라믹 ESC)

반도체 식각(에칭) 장비용 실리콘 링, 전극, 샤워헤드 부품

샤워헤드, 챔버파츠, 히터, 정전척 베이스 플레이트 등 반도체 식각·증착 공정 부품