

반도체, 2차전지, 디스플레이, 자동차 등 산업 물류자동화 시스템 (OHT)


국방·의료·환경·산업 분야에서 활용할 양자 센서용 eye-safety 대역 단일광자 검출기(SPAD) 에피 및 칩

광센서 및 원자셀 기반 양자 솔루션

산화이트륨을 이용한 증착장비와 공정 개발

웨이퍼 배면의 결함을 양산라인 내에서 비파괴 방식으로 관찰·분석하는 반도체 계측 장비

폴더블 디스플레이의 자외선 차단 기능을 부여한 점착제

전력반도체와 TGV(유리 관통 전극)·TSV(실리콘 관통 전극) 내부 결함 비파괴 전수 검사 장비

반도체 웨이퍼에 형성되는 마이크로 범프의 3D 형상을 초고속으로 측정할 수 있는 정밀 검사 장비

연구용 원자층 증착법 장비