2024산업통상자원부
수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 비정질 세라믹 소재의2배 이상 장수명화를 위한 표면개질 및 재활용 재생복원 기술 개발
Development of technology for parts that last more than two times as long as quartz glass for semiconductor annealing process equipment containing hydrogen radicals
대형 석영유리 및 다성분계 비정질 세라믹 소재 재활용 건식 재생복원 하이브리드 기술 개발 석영유리 및 다성분계 비정질 세라믹 소재 내수소 저항성 보호층 코팅 기술 개발
- 총 연구비
- 51억원 과제 3건 (수행기관 6곳)
- 연구 기간
- 3년 3개월수행 중 (D-552)2024-10-01 – 2027-12-31
- 적용분야
- 주관기관
원익큐엔씨
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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