용융 금속과 수소 환원을 이용한 반도체 F-gas 배출 저감 및 불소 회수 방법의 개발

Development of a Molten Metal and Hydrogen Reduction Process for Semiconductor F-gas Abatement and Fluorine Recovery

- 본 연구의 최종 목표는 반도체 공정에서 발생하는 불소계 가스(F-gas)를 용융 금속 기반 반응으로 분해하고, 동시에 불소를 회수할 수 있는 기초 원천 기술을 확립하는 것이다. CF4, C2F6, SF6, NF3 등의 F-gas를 금속 플루오라이드로 전환한 후 수소 환원을 통해 금속을 재생하고 HF를 생성하는 2단계 순환 반응 개념의 과학적 타당성을 규...