2022중소벤처기업부
반도체 세정장비용 내화학성이 우수한 PC계열의 투시패널 감시창 개발
① 세정 장비의 외곽 패널 구조 개선 (3단 → 2단 구조) - 세정 장비 외곽 패널 구조 설계 및 제작 - 외장 SUS와 마그네틱 결합 방식 시뮬레이션 검토 - 재료 물성에 따른 열 stress 시뮬레이션 ② 내화학성이 우수한 OBBglass 투시 패널 재료 개발 - PC계열의 내화학성 (산성, 알카리성, 유기용제)이 우수한 재료 합성 - PC와 유리의 OCR (Optically clear…
- 총 연구비
- 3.1억원 과제 3건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 2년수행완료2022-07-01 – 2024-06-30
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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