2023중소벤처기업부
반도체·디스플레이 공정용 3파장(UV/VIS/NIR) 고효율·고강도 광섬유 전송 나노초 레이저 응용기기 개발
Development of Tri-wavelength(UV/VIS/NIR) High-efficiency, High-intensity Fiber Beam Delivery Nanosecond Laser Appliance Equipment for Semiconductor and Display Processes
1. 반도체·디스플레이 공정용 3파장 고효율·고강도 광섬유 나노초 레이저 응용기기 개발 - 레이저 발진기 시스템: 300mJ·12ns·100Hz @1064nm - 3파장 레이저 전환 모듈: 180mJ @532nm, 100mJ @355nm - 광섬유 빔 전송 모듈: 전송효율 85% 이상, 5m 이상 전송 - 레이저 가공 모듈: 출력 드리프트 2 %RMS 이하 레이저 헤드 2. 응용 분야 -…
- 총 연구비
- 3.4억원 과제 3건 (수행기관 1곳)
- 연구 기간
- 1년 10개월수행완료2023-09-01 – 2025-06-30
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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